afm原子力顯微鏡探針是一種具有原子分辨率的表面形貌、電磁性能分析的重要儀器。1981年，STM（scanningtunnellingmicroscopy,掃描隧道顯微鏡）由IBM-Zurich的BinnigandRohrer發(fā)明。1982年，Binnig觀察到原子分辨圖Si(7x7)。1985年，Binnig,Gerber和Quate開發(fā)成功了AFM（atomicforcemicroscope,原子力顯微鏡）。在表面科學、納米技術(shù)領(lǐng)域、生物電子等領(lǐng)域，SPM（scanningprobemicroscopy）逐漸發(fā)展成為重要的、多功能材的材料表征工具。
afm原子力顯微鏡探針主要有以下幾種：
1、非接觸/輕敲模式針尖以及接觸模式探針：常用的產(chǎn)品，分辨率高，使用壽命一般。使用過程中探針不斷磨損，分辨率很容易下降。主要應用與表面形貌觀察。
2、導電探針：通過對普通探針鍍10-50納米厚的Pt（以及別的提高鍍層結(jié)合力的金屬，如Cr，Ti，Pt和Ir等）得到。導電探針應用于EFM，KFM，SCM等。導電探針分辨率比tapping和contact模式的探針差，使用時導電鍍層容易脫落，導電性難以長期保持。導電針尖的新產(chǎn)品有碳納米管針尖，金剛石鍍層針尖，全金剛石針尖，全金屬絲針尖，這些新技術(shù)克服了普通導電針尖的短壽命和分辨率不高的缺點。
3、磁性探針：應用于MFM，通過在普通tapping和contact模式的探針上鍍Co、Fe等鐵磁性層制備，分辨率比普通探針差，使用時導電鍍層容易脫落。
4、大長徑比探針：大長徑比針尖是專為測量深的溝槽以及近似鉛垂的側(cè)面而設(shè)計生產(chǎn)的。特點：不太常用的產(chǎn)品，分辨率很高，使用壽命一般。技術(shù)參數(shù)：針尖高度>9μm；長徑比5:1；針尖半徑<10nm。
5、類金剛石碳AFM探針/全金剛石探針：一種是在硅探針的針尖部分上加一層類金剛石碳膜，另外一種是全金剛石材料制備（價格很高）。這兩種金剛石碳探針具有很大的耐久性，減少了針尖的磨損從而增加了使用壽命。
afm原子力顯微鏡探針利用探針與樣品之間各種不同的相互作用的力而開發(fā)了各種不同應用領(lǐng)域的顯微鏡，如AFM（范德法力），靜電力顯微鏡EFM（靜電力）磁力顯微鏡MFM（靜磁力）側(cè)向力顯微鏡LFM（探針側(cè)向偏轉(zhuǎn)力）等，因此有對應不同種類顯微鏡的相應探針。
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